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学术文献
光探针式表面形貌测量技术的研究
光探针式表面形貌测量技术的研究
来源:
《计量与测试技术》
作者:
张蕴冬[1];浦军[1]
摘要:
本文针对机械探针是粗糙度测量仪的不足提出并采用基于差动像散法的光探针技术测量表面粗糙度,采用小波包分析法分离表面粗糙度信号.研究表明该系统不仅测量分辨率高,而且对工件表面无任何划伤,尤其适合对光盘等含有信息的表面及软、脆材料制作的高光洁表面进行形貌测量,对Ra为0.012μm的粗糙度样板进行测量,其测量重复性为2%.
关键词:
测量技术 , 表面形貌 , 探针式 , 表面粗糙度 , 测量分辨率 , 测量重复性 , 技术测量 , 工件表面 , 形貌测量 , 光探针 , 测量仪 , 分析法 , 小波包 , 材料
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