摘要:
应用传统的陶瓷制备工艺制备Ba0.7Sr0.3TiO3陶瓷靶材,讨论了Ba0.7Sr0.3TiO3陶瓷靶材的最佳工艺条件.用XRD衍射仪分析了预烧粉料的物相结构,并结合热失重(TG)分析确定了BST(70/30)粉料的预烧温度,用SEM观察了Ba0.7Sr0.3TiO3陶瓷靶材在不同烧结温度下的显微结构,用Agilent 4294A精密阻抗分析仪测得BST靶材的介电性能,用Precise-Workshop测试BST靶材的铁电性能.实验结果表明,采用传统的陶瓷制备工艺制得晶粒较为均匀、结构致密的Ba0.7Sr0.3TiO3陶瓷靶材的最佳工艺条件为:在940 ℃预烧2 h,1 300 ℃烧结2 h.
