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学术文献
用相机测量金刚石膜透光性的研究
用相机测量金刚石膜透光性的研究
来源:
《金刚石与磨料磨具工程》
作者:
罗廷礼[1]
摘要:
为了方便测量、记录和交流金刚石膜的透光性,对用相机测定金刚石膜透光性的技术问题进行了研究。其原理是由相机的感光度、光圈、快门速度先得到一张级差为20%的25级金刚石膜透光性的速查表。漶。量中,得知膜的快门速度后查表,即可知膜的透光性级数和透光率。该法表征金刚石膜透光性的方式,可适用于多散点单参数膜25级平面坐标图示法和单散点多参数膜相关信息元素的多项式法。该方法怯:速方便、简单可靠,无需大型设备,保证了金刚石膜的完整性,解决了整片金刚石膜透光性的测量、表征和分级的问题。
关键词:
化学气相沉积 , 金刚石膜 , 透光率 , 测量和分级
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