摘要:
采用中频交流磁控溅射法，以O2／N2混和气为反应气体，在铝片上沉积了氮掺杂TiO2膜．利用原子力显微镜、紫外-可见光谱、X射线衍射和X射线光电子能谱等手段研究了掺杂膜的表面形貌、光吸收性能、物相组成以及膜样品中氮的化学态，并通过苯甲酰胺的光催化降解实验对光催化剂活性进行了评价．结果表明，所得掺杂膜仅能够被紫外光所激发，反应气的配比对膜的形貌和TiO2的锐钛矿／金红石相比率均有影响，而氮在膜中以掺杂N^3-表面吸附N2和固溶N2的形式存在．随着NO^3-掺入量的增加，掺杂膜的光催化活性显著提高，在反应气体组成为N2／(O2+N2)=80％(体积分数)时，掺杂N^3-量为0．594％，苯甲酰胺光催化降解效果最好，其活性约为纯TiO2膜的1．5倍．
