摘要:
以硅纳米孔柱阵列（Si-NPA）为衬底、高纯金属铟为铟源,采用化学气相沉积法制备了氧化铟（In2O3）/Si-NPA复合纳米体系,并对其表面形貌和结构进行了表征.结果表明,In2O3/Si-NPA中In2O3具有体心立方结构,其薄膜由粒径为100-400 nm的纳米颗粒和长约为1μm、直径约为300 nm的纳米棒组成,而这些纳米颗粒、纳米棒均由平均粒径约为19 nm的In2O3纳米晶粒组成.气体传感性能测试结果表明,In2O3/Si-NPA对低含量酒精具有较高的响应度和良好的选择性.当酒精的体积分数为2×10^-6时,器件的响应值达到463%,响应和恢复时间分别为15 s和8 s.
