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学术文献
有机衬底SnO2:Sb透明导电膜的制备与特性研究
有机衬底SnO2:Sb透明导电膜的制备与特性研究
来源:
《物理学报》
作者:
郝晓涛[1];徐现刚[2];等
摘要:
常温下,采用射频磁控溅射法在有机的柔性衬底上制备出了SnO2:Sb透明导电膜,并对薄膜的结构和光电性质进行了研究。制备的样品为多晶薄膜,并且保持了二氧化锡的金红石结构。性能良好的薄膜电阻率为6.5×10^-3Ω·cm,载流子浓度为
1.2
×10^20cm^-3,霍耳迁移率是9.7cm^2·V^-1·s^-1。薄膜在可见光区的平均透过率达到85%。
关键词:
柔性衬底 , SnO2:Sb透明导电膜 , 射频磁控溅射法 , 制备 , 氧化锡 , 锡 , 光学透过率 , 光电性质 , 结构
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