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催化剂对制备SiO<sub>2</sub>减反膜的影响

《光子学报》 靳瑞敏[1,2];肖东岳[1];苍利民[2];阎韬[2];徐建军[2];韩香菊[2];
摘要:
以正硅酸乙酯(TEOS)为有机硅源,乙醇为溶剂,NH3.H20和HCl为催化剂,采用溶胶-凝胶技术,通过调节催化剂控制SiO2纳米颗粒尺度,然后在玻璃上用旋涂法镀膜并对其进行热处理,制备低折射率SiO2减反膜.分别采用椭偏仪和扫描电镜对所制备减反膜的结构、物性进行研究,研究不同性质和剂量的催化剂对薄膜结构、折射率的影响.结果表明:通过控制适量的碱酸催化剂可以制备出低折射率多孔结构的SiO2太阳电池减反膜.
溶胶-凝胶 , SiO2减反膜 , 催化剂 , 薄膜结构
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